Clarus氣相色譜儀壓力流量控制指標
　　
　　Clarus氣相色譜儀壓力流量控制指標
　　
　　壓力、流量測量：指針式壓力表方式、電子壓力流量方式
　　
　　全電子氣體壓力、流量測量系統：單模塊zui大測量路數：16路
　　
　　EPC、EFC工作模式：3種；恒流模式、恒壓模式、分流模式
　　
　　EPC、EFC工作氣體：4種；氮氣、氫氣、空氣、氦氣
　　
　　EPC、EFC程升：4階
　　
　　EPC、EFC控制量程：壓力：0～0.6Kpa；流量0～100sccm或0～500sccm（空氣）；
　　
　　Clarus氣相色譜儀輔助模塊：
　　
　　1)進樣口包含載氣輔助模塊，兩個載氣區
　　
　　2)所有進樣口可配置手動控制的輔助模塊
　　
　　3)所有檢測器可配置手動控制的輔助模塊
　　
　　Clarus氣相色譜儀進樣口：
　　
　　1)可安裝分流/不分流進樣口和填充柱進樣口
　　
　　2)可裝兩個進樣口
　　
　　3)分流/不分流進樣口
　　
　　4)工作溫度：50℃～450℃，1℃遞增
　　
　　5)手動調節輔助模塊，壓力調節器0~60psi，數字顯示柱頭壓力